yo lo hice así: si tienes un espacio grande de la ciudad vacío y
sin contaminación que es lo más importante, lleva una carretera hacia allá, coloca muchos parques y arboles en la zona, traza las carreteras de la forma que quieras, haz en un cruce de carreteras una pequeña zona de 3x3 de industrial de alta densidad y revisas, si se construye un edificio de alta tecnología empieza a agrandar la zona pero sin que éstas estén pegadas a la carretera (puedes dejar 1 cuadro de por medio) si el edificio que se construyó es contaminante derribalo y espera que construyan el edificio de alta tecnologia y ahi empieza la cadena

si no tienes espacio en la ciudad, entonces deszona toda la zona industrial, espera q se vaya la contaminación, construyes ahi y verás como empieza a llegar la hi-tech, claro, debes tener un coeficiente de educacion en tu ciudad muy alto.